Researcher Yang Liang's research group at the Suzhou Institute for Advanced Study at the University of Science and Technology of China developed a new method for metal oxide semiconductor laser micro-nano manufacturing, which realized the laser printing of ZnO semiconductor structures with submicron precision, and combined it with metal laser printing , for the first time verified the integrated laser direct writing of microelectronic components and Такие схемы, как диоды, триоды, мемристоры и схемы шифрования, тем самым расширяя сценарии применения лазерной микронано-обработки в области микроэлектроники, в гибкой электронике, усовершенствованных датчиках, интеллектуальных мемолевых и других полях. Результаты исследований были недавно опубликованы в «Природных коммуникациях» под названием «Лазерная печатная микроэлектроника».
Printed Electronics - это новая технология, которая использует методы печати для производства электронных продуктов. Он соответствует характеристикам гибкости и персонализации нового поколения электронных продуктов и принесет новую технологическую революцию в промышленность микроэлектроники. За последние 20 лет струйная печать, индуцированная лазером перенос (подъем) или другие методы печати сделали большие шаги, чтобы обеспечить изготовление функциональных органических и неорганических микроэлектронных устройств без необходимости в среде чистой комнаты. Тем не менее, типичный размер признаков приведенных выше методов печати обычно находится в порядке десятков микрон и часто требует высокотемпературного процесса постобработки или опирается на комбинацию нескольких процессов для достижения обработки функциональных устройств. Лазерная микронано-технология обработки использует нелинейное взаимодействие между лазерными импульсами и материалами и может достигать сложных функциональных структур и аддитивного производства устройств, которые трудно достичь традиционными методами с точностью <100 нм. Тем не менее, большинство современных лазерных микронано-обработанных конструкций представляют собой однополимерные материалы или металлические материалы. Отсутствие лазерных методов прямого письма для полупроводниковых материалов также затрудняет расширение применения лазерной микронано-технологии обработки в области микроэлектронных устройств.
В этом тезисе исследователь Ян Лян, в сотрудничестве с исследователями в Германии и Австралии, инновационно разработанная лазерная печать в качестве технологии печати для функциональных электронных устройств, реализации полупроводника (ZNO) и дирижера (композитный лазерный печать различных материалов, таких как PT и AG) (рисунок 1), и не требует каких-либо высоких посторонних шагов по всему процессу. И минимально-минимальные шаги. Этот прорыв позволяет настроить проектирование и печать проводников, полупроводников и даже расположение изоляционных материалов в соответствии с функциями микроэлектронных устройств, что значительно повышает точность, гибкость и управляемость печати микроэлектронных устройств. Исходя из этого, исследовательская группа успешно реализовала интегрированное лазерное прямое написание диодов, мемристоров и физически неразборчивых цепей шифрования (рис. 2). Эта технология совместима с традиционной струйной печатью и другими технологиями, и, как ожидается, будет расширена на печать различных материалов из оксида металла металла P-типа и N-типа, обеспечивая систематический новый метод для обработки сложных, крупномасштабных трехмерных функциональных микроэлектронных микроэлектронных устройств.
Тезис: https: //www.nature.com/articles/s41467-023-36722-7
Пост времени: марта 09-2023